Cascade PA200 BlueRay 200mm半/全自動(dòng)量產(chǎn)型探針臺(tái)

Die到Die之間的步進(jìn)時(shí)間小于100ms

多Die測量技術(shù)可實(shí)現(xiàn)20 Dies/s(70,000 Dies/h)的測量速率

能更快地獲得測量數(shù)據(jù)

在所有生產(chǎn)型探針中具有最高的 Z 軸分辨率

獨(dú)特的 Z 軸剖析功能

即使是高度方面的極端變化（比如，晶圓發(fā)生扭曲的場合）也可予以補(bǔ)償

最大限度減小Pad上劃痕

提升良率

極小的占地面積

配有與主流分析儀表、軟件和測試機(jī)的通訊接口

低擁有成本

投資回報(bào)快

背面儀表，例如，積分球、光纖設(shè)置、壓力模塊

可接觸被測器件 (DUT) 和正面和反面

高度準(zhǔn)確的光測量

以用戶為中心的設(shè)計(jì)最大程度地減少了培訓(xùn)成本并提高了效率

全面的對(duì)齊功能–從簡單的晶圓圖建立和對(duì)齊到先進(jìn)的自動(dòng)探針與pad對(duì)位

為經(jīng)驗(yàn)不足的用戶簡化操作流程：工作流程指南和精簡的用戶圖形界面幫助降低培訓(xùn)成本

VeloxPro選件：符合SEMI E95的測試執(zhí)行軟件，可簡化操作和整個(gè)晶圓測試周期的安全自動(dòng)測量。

現(xiàn)場升級(jí)晶圓傳送裝置

實(shí)現(xiàn)7X24小時(shí)不間斷、全自動(dòng)作業(yè)