產(chǎn)品簡介
對于幾乎所有的器件類型和半導(dǎo)體技術(shù)， DC參數(shù)測量貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品開發(fā)和生產(chǎn)的每個階段。精確且可重復(fù)的直流參數(shù)測量（IV，CV，脈沖和高功率）可降低不確定性。
測試完整性面臨各方面的威脅
大量因素可能會破壞直流電性測試。由于外部環(huán)境的影響，電噪聲可能出現(xiàn)在數(shù)據(jù)中 - 例如，來自蜂窩網(wǎng)絡(luò)，無線電/電視塔和附近電子設(shè)備的電磁干擾和射頻干擾，以及溫度和振動等物理因素。
測試系統(tǒng)內(nèi)部的因素也會影響結(jié)果 - 例如，設(shè)計不良的信號路徑產(chǎn)生的漏電流，電阻或熱電壓偏移，材料能量存儲以及來自于基本的探針臺系統(tǒng)組件的電噪聲，如電源，平臺電機，溫控系統(tǒng)和電腦。
如果管理不當，這些因素會導(dǎo)致數(shù)據(jù)偏移和整個樣本集的統(tǒng)計分布增加，從而嚴重降低電性能。糟糕的數(shù)據(jù)是昂貴的 - 重新測試的時間，額外的建模周期，延遲的產(chǎn)品發(fā)布以及性能不佳的產(chǎn)品。
產(chǎn)品特性
同軸電纜–直流參數(shù)測試，低至pA級別
可移動壓板，高度調(diào)節(jié)為40 mm，接觸/分離行程為200μm，重復(fù)精度為±1μm
卡盤載物臺具有可調(diào)節(jié)的摩擦力和載物臺鎖，獨特的Z卡盤調(diào)節(jié)和90毫米拉出
電磁定位器具有1μm的功能分辨率和3個帶有精密滾珠軸承的線性軸
產(chǎn)品手冊 下載
