產(chǎn)品簡(jiǎn)介
對(duì)于幾乎所有的器件類(lèi)型和半導(dǎo)體技術(shù)， DC參數(shù)測(cè)量貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)的每個(gè)階段。精確且可重復(fù)的直流參數(shù)測(cè)量（IV，CV，脈沖和高功率）可降低不確定性。
測(cè)試完整性面臨各方面的威脅
大量因素可能會(huì)破壞直流電性測(cè)試。由于外部環(huán)境的影響，電噪聲可能出現(xiàn)在數(shù)據(jù)中 - 例如，來(lái)自蜂窩網(wǎng)絡(luò)，無(wú)線(xiàn)電/電視塔和附近電子設(shè)備的電磁干擾和射頻干擾，以及溫度和振動(dòng)等物理因素。
測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)部的因素也會(huì)影響結(jié)果 - 例如，設(shè)計(jì)不良的信號(hào)路徑產(chǎn)生的漏電流，電阻或熱電壓偏移，材料能量存儲(chǔ)以及來(lái)自于基本的探針臺(tái)系統(tǒng)組件的電噪聲，如電源，平臺(tái)電機(jī)，溫控系統(tǒng)和電腦。
如果管理不當(dāng)，這些因素會(huì)導(dǎo)致數(shù)據(jù)偏移和整個(gè)樣本集的統(tǒng)計(jì)分布增加，從而嚴(yán)重降低電性能。糟糕的數(shù)據(jù)是昂貴的 - 重新測(cè)試的時(shí)間，額外的建模周期，延遲的產(chǎn)品發(fā)布以及性能不佳的產(chǎn)品。
產(chǎn)品特性
同軸電纜–直流參數(shù)測(cè)試，低至pA級(jí)別
可移動(dòng)壓板，高度調(diào)節(jié)為40 mm，接觸/分離行程為200μm，重復(fù)精度為±1μm
卡盤(pán)載物臺(tái)具有可調(diào)節(jié)的摩擦力和載物臺(tái)鎖，獨(dú)特的Z卡盤(pán)調(diào)節(jié)和90毫米拉出
電磁定位器具有1μm的功能分辨率和3個(gè)帶有精密滾珠軸承的線(xiàn)性軸
產(chǎn)品手冊(cè) 下載
