產(chǎn)品簡(jiǎn)介
TESLA300 Advanced On-Wafer 功率半導(dǎo)體探針系統(tǒng)是一種集成式高功率測(cè)試解決方案，能夠收集高達(dá) 3 kV（三軸）/10 kV（同軸）和 200 A（標(biāo)準(zhǔn)）/600 A（大電流）的精確高壓和大電流測(cè)量數(shù)據(jù)，并完全確保操作人員的安全。
該TESLA300提供實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)化功能，并可為器件表征、大批量工程和極具挑戰(zhàn)性的應(yīng)用提供高功率電氣測(cè)量。它也非常適合定制解決方案、利基生產(chǎn)應(yīng)用和新興市場(chǎng)。
內(nèi)置TESLA300專利AttoGuard技術(shù)可顯著改善低泄漏和低電容測(cè)量。結(jié)合FormFactor獲得專利的TESLA FemtoGuard?熱卡盤技術(shù)，該TESLA300提供了一個(gè)完全保護(hù)和屏蔽的測(cè)試環(huán)境。高功率 TESLA FemtoGuard 卡盤還采用了 MicroVac? 技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)低接觸電阻、薄晶圓處理和最大功耗。
產(chǎn)品特性
鍍金 TESLA 大功率 MicroVac? 卡盤
TUV認(rèn)證的探測(cè)環(huán)境
用于大功率測(cè)試的安全級(jí)聯(lián)鎖系統(tǒng)（符合 EN 60947-5-1、EN 60204-1）
前門、側(cè)門和后開門，符合人體工程學(xué)的測(cè)試設(shè)置和操作
帶電纜直通的側(cè)面板，便于設(shè)備配置
全外殼設(shè)計(jì)（無光幕）可防止安全聯(lián)鎖和停止測(cè)試意外跳閘
頂升式晶圓裝載
無需卡盤上的吊銷，可實(shí)現(xiàn)一流的功率器件測(cè)量
提供從晶圓到卡盤的最低接觸電阻
通過消除電弧點(diǎn)，支持高達(dá) 10kV 的全自動(dòng)測(cè)試
垂直設(shè)備測(cè)量的卓越性能（設(shè)備下方無提升銷孔）
高壓/電流探頭
高達(dá) 10,000 V DC / 600 A 的晶圓上功率器件表征
在高達(dá) 20 A DC 和 300 A 脈沖的大電流下減少探頭和設(shè)備的損壞
提高隔離電阻和介電強(qiáng)度，在高電壓 （3,000 V） 下提供完整的三軸能力，以實(shí)現(xiàn)低泄漏測(cè)量
物料搬運(yùn)裝置 （MHU301）
用于快速處理 200/300 mm 晶圓
將晶圓裝載/卸載到熱/冷卡盤（-60°C 至 +300°C）
集成預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，用于平面/缺口檢測(cè)
條碼/二維矩陣碼/OCR晶圓碼雙面識(shí)別（可選）
快速訪問端口選項(xiàng)可實(shí)現(xiàn)更高的吞吐量和額外的晶圓存儲(chǔ)
符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的負(fù)載端口，最多可容納 25 個(gè)晶圓
適用于 FOUP 和 FOSB 300 mm 晶圓盒
熱測(cè)量
ATT提供各種性能極高、性能極高、性能可靠的熱卡盤系統(tǒng)
靈活性：從僅熱到-60°C至+300°C的全熱范圍
與市場(chǎng)上其他系統(tǒng)（25l/min）相比，耗氣量（CDA）最多可降低300%，且轉(zhuǎn)換時(shí)間不打折扣
轉(zhuǎn)換時(shí)間比市場(chǎng)上的其他系統(tǒng)快 15%
獲得專利的 MicroVac? 和 FemtoGuard? 技術(shù)，提供超低噪聲測(cè)量和可控泄漏、低殘余電容以實(shí)現(xiàn)可重復(fù)性以及先進(jìn)的測(cè)量精度和速度
可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)：隨需求而增長(zhǎng)
在家中或世界任何地方進(jìn)行遠(yuǎn)程操作
安全、輕松地將探頭向下放置，與測(cè)試墊接觸（電動(dòng)定位器功能齊全）
安全地將晶圓移動(dòng)到不同的測(cè)試地點(diǎn)
查看和管理探針和晶圓的實(shí)時(shí)顯微鏡觀察
查看晶圓圖測(cè)試計(jì)劃
啟動(dòng)遠(yuǎn)程測(cè)試程序以收集和分析測(cè)試數(shù)據(jù)
以用戶為中心的設(shè)計(jì)，最大限度地降低培訓(xùn)成本，提高效率
Windows 10 兼容性可通過最先進(jìn)的硬件實(shí)現(xiàn)最高性能和安全操作
全面的對(duì)準(zhǔn)功能 – 從簡(jiǎn)單的晶圓對(duì)準(zhǔn)和映射到先進(jìn)的探頭到焊盤在多個(gè)溫度下的對(duì)準(zhǔn)，用于自主半導(dǎo)體測(cè)試
為沒有經(jīng)驗(yàn)的用戶簡(jiǎn)化操作：通過工作流程指南和簡(jiǎn)潔的圖形用戶界面降低培訓(xùn)成本
VeloxPro 選項(xiàng)：符合 SEMI E95 標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試執(zhí)行軟件，可實(shí)現(xiàn)整個(gè)晶圓測(cè)試周期的簡(jiǎn)化和安全自動(dòng)化
產(chǎn)品應(yīng)用
產(chǎn)品規(guī)格參數(shù) 下載
