產(chǎn)品簡(jiǎn)介
UF2000全自動(dòng)探針臺(tái)支持最大200mm晶圓的測(cè)試，系統(tǒng)采用高精度、高剛性機(jī)床，穩(wěn)定性與精度相比前代產(chǎn)品有巨大提升。
UF2000全自動(dòng)探針臺(tái)采用了高剛性和高速操作技術(shù)，提高了精度和產(chǎn)量。
UF2000全自動(dòng)探針臺(tái)可選擇的配置選項(xiàng)多種多樣，可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)不標(biāo)準(zhǔn)的各種晶圓測(cè)試。
產(chǎn)品特性
測(cè)試環(huán)境覆蓋超高到低溫
用于測(cè)試頭的鉸鏈?zhǔn)綑C(jī)械手
利用特殊的轉(zhuǎn)移機(jī)制進(jìn)行翹曲及超薄晶圓的轉(zhuǎn)移
FFU實(shí)現(xiàn)清潔的測(cè)試環(huán)境
低噪聲測(cè)試環(huán)境
高壓測(cè)試環(huán)境
針跡檢查功能
產(chǎn)品應(yīng)用
晶圓級(jí)電性能測(cè)試
晶圓允收測(cè)試
規(guī)格參數(shù)
晶圓尺寸 | 5英寸，6英寸和8英寸 |
可測(cè)試die尺寸 | 0.25 - 100 mm (間距0.1 μm) 10 - 3900 mil(間距0.01 mil) |
總體精度 | 4μm |
X/Y軸行程 | ±120 mm |
X/Y軸最大速度 | 300 mm/s |
Z軸總行程 | 69 mm |
Z軸測(cè)試行程 | 0.5 mm |
Z軸最大速度 | 30 mm/s |
Z軸分辨率 | 0.25 μm |
Theta軸調(diào)節(jié)范圍 | ±5° |
Theta軸精度 | 0.00024°（直徑200mm晶圓邊緣處約0.4μm） |
