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OptiFIB Taipan系統(tǒng)

OptiFIB Taipan系統(tǒng)
產(chǎn)品詳情


產(chǎn)品簡介

Thermo Scientific OptiFIB Taipan 系統(tǒng)是一款強(qiáng)大的聚焦離子束電路編輯系統(tǒng),專注于優(yōu)化10nm工藝節(jié)點(diǎn)。其具有最高的成像分辨率和切割精度、最高的離子束定位精度、低系統(tǒng)漂移,因而具備更高的成功率和生產(chǎn)率。OptiFIB Taipan 系統(tǒng)還具有獨(dú)特的以電路編輯為核心的化學(xué)反應(yīng)和軟件自動(dòng)化,以進(jìn)一步提升使用性。

電路編輯技術(shù)提供了納米加工能力,可以在集成電路制造過程的各個(gè)點(diǎn)對(duì)微小的設(shè)計(jì)修正為開發(fā)人員創(chuàng)建少量功能芯片,并解決可靠性問題。


產(chǎn)品特性

  • 超高的FIB分辨率成像和低電流離子束銑削

  • Super-SED具有更高的信噪比和端點(diǎn)靈敏度

  • 獨(dú)特的同軸離子-光子束流柱

  • 先進(jìn)的氣體輸送系統(tǒng)

  • 先進(jìn)的支持行業(yè)經(jīng)驗(yàn)證的PIAscan引擎   


產(chǎn)品應(yīng)用

失效分析

微組裝


規(guī)格參數(shù)

FIB Column

Ion-Photon Coaxial Taipan column forbackside and frontside circuit edits

FIB image resolution

2.7 nm @250 fA and 30 kV

(Thermo Scientific graphite sample)

Acceleration voltage

0.5–30 kV

Beam current

250 fA–20 nA

Stage travel (X,Y,Z)

75 mm x 75 mm x 20 mm

Beam stability/driftcontrol

4 nm/min

Conductor resistivity

200 μΩ?cm

Insulator resistivity

1E15 μΩ?cm



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