產(chǎn)品簡介
Thermo Scientific OptiFIB Taipan 系統(tǒng)是一款強(qiáng)大的聚焦離子束電路編輯系統(tǒng)，專注于優(yōu)化10nm工藝節(jié)點(diǎn)。其具有最高的成像分辨率和切割精度、最高的離子束定位精度、低系統(tǒng)漂移，因而具備更高的成功率和生產(chǎn)率。OptiFIB Taipan 系統(tǒng)還具有獨(dú)特的以電路編輯為核心的化學(xué)反應(yīng)和軟件自動(dòng)化，以進(jìn)一步提升使用性。
電路編輯技術(shù)提供了納米加工能力，可以在集成電路制造過程的各個(gè)點(diǎn)對(duì)微小的設(shè)計(jì)修正，為開發(fā)人員創(chuàng)建少量功能芯片，并解決可靠性問題。
產(chǎn)品特性
產(chǎn)品應(yīng)用
失效分析
微組裝
規(guī)格參數(shù)
FIB Column | Ion-Photon Coaxial Taipan column forbackside and frontside circuit edits |
FIB image resolution | 2.7 nm @250 fA and 30 kV (Thermo Scientific graphite sample) |
Acceleration voltage | 0.5–30 kV |
Beam current | 250 fA–20 nA |
Stage travel (X,Y,Z) | 75 mm x 75 mm x 20 mm |
Beam stability/driftcontrol | 4 nm/min |
Conductor resistivity | ≤ 200 μΩ?cm |
Insulator resistivity | ≥ 1E15 μΩ?cm |
