產(chǎn)品簡(jiǎn)介
新的 Thermo Scientific Apreo 2 SEM 經(jīng)擴(kuò)展可訪問高性能成像以及針對(duì)所有級(jí)別顯微鏡專業(yè)知識(shí)的分析。憑借 Thermo Scientific ColorSEM 技術(shù)，一種獨(dú)特的實(shí)時(shí)元素成像功能，可以通過最直觀的界面隨時(shí)獲得組分信息。ColorSEM 技術(shù)消除了與典型 EDS 實(shí)施相關(guān)的所有麻煩，為您提供前所未有的結(jié)果時(shí)間和易用性。
憑借 Thermo Scientific SmartAlign 技術(shù)（一種光學(xué)系統(tǒng)、可以自己對(duì)齊），Apreo 2 SEM 對(duì)用戶和實(shí)驗(yàn)室管理人員提出了更小的要求。此外，Apreo 2 SEM 采用 Thermo Scientific FLASH 技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)圖像微調(diào)過程的自動(dòng)化。FLASH 技術(shù)對(duì)鏡頭居中、消像散器和圖像的最終焦點(diǎn)執(zhí)行任何必要的校正。這些技術(shù)的組合意味著電子顯微鏡的新用戶可以獲得 Apreo 2 SEM 的高端性能。此外、Apreo 2 SEM 是唯一一款在 10 mm 分析工作距離具備 1 納米分辨率的 SEM。
產(chǎn)品特性
范圍廣泛的樣品類型
實(shí)時(shí)定量 EDS
長(zhǎng)工作距離
SmartAlign 技術(shù)
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體失效分析
規(guī)格參數(shù)
| Apreo 2S | Apreo 2C |
分辨率 | 在 1 kV 下 0.9 nm 在 1 kV 下 0.8 nm（光束減速） 在 1 kV 下 1.0 nm、工作距離為 10 mm （光束減速） 在 500 kV 下 0.8 nm（光束減速） 在 200 kV 下 1.2 nm（光束減速） | 在 1 kV 下 1.2 nm 在 1 kV 下 1.0 nm（光束減速） 在 500 kV 下 1.2 nm（光束減速） |
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)器 | ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+ | ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+ |
可選檢測(cè)器 | DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等。 |
著陸能量范圍 | 20 eV – 30 keV |
載物臺(tái)偏倚（光束減速） | -4000 V 至 +600 V 標(biāo)準(zhǔn)（每個(gè)系統(tǒng)） |
低真空模式 | 可選：10 – 500 Pa 腔室壓力 |
載物臺(tái) | 5-軸電動(dòng)共心載物臺(tái)，110 x 110 mm2，105° 傾斜范圍。最大樣品重量：未傾斜位置，5 kg。 |
最大射束電流 | 50 nA（也可配置為 400 nA） |
腔室 | 340 mm 內(nèi)寬，12 個(gè)端口，最多三個(gè)同步 EDS 檢測(cè)器（兩個(gè)在 180° 處）、共面 EDS/EBSD 與載物臺(tái)的傾斜軸正交 |
