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PHEMOS-1000 微光顯微鏡

PHEMOS-1000 微光顯微鏡
產(chǎn)品詳情


產(chǎn)品簡介

PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光顯微鏡,通過偵測半導(dǎo)體缺陷引起的微弱的光發(fā)射和熱發(fā)射來準(zhǔn)確定位半導(dǎo)體器件的失效位置。

設(shè)備既可以與通用型探針臺組合使用,也可搭載濱松Tilt Stage配合Nano Lens進(jìn)行動態(tài)失效分析。PHEMOS-1000支持從Probe Card到12英寸大尺寸晶圓的多種任務(wù)和應(yīng)用范圍需求。


產(chǎn)品特性

  • 激光掃描系統(tǒng)

  • 高靈敏度近紅外相機(jī)進(jìn)行光發(fā)射分析(根據(jù)客戶樣品特點(diǎn)對不同波長范圍的光發(fā)射探測可以選配不同型號相機(jī),InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X)

  • 高靈敏度中紅外Thermal相機(jī)進(jìn)行熱分析

  • 激光誘導(dǎo)阻值變化分析(OBIRCH)

  • Nano Lens 進(jìn)行高分辨率、高靈敏度分析

  • 連接測試機(jī)進(jìn)行動態(tài)分析


產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體失效分析


規(guī)格參數(shù)

供電電壓

AC200 V (50 Hz/60 Hz)

功耗

Approx. 1400 VA (Max. 3300 VA)

真空需求

Approx. 80 kPa or more

壓縮空氣需求

0.5 MPa to 0.7 MPa

尺寸/重量

Main unit: 1340 mm (W)×1200 mm (D)×2110 mm (H), Approx.

1500 kg

Control rack: 880 mm (W)×820 mm (D)×1542 mm (H), Approx.

150 kg

Operation desk: 1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx.

45 kg



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