產(chǎn)品簡介
AD2000T 全自動劃片機是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機械傳動、傳感器及自動化控制等技術(shù)的精密數(shù)控設(shè)備。主要用于硅集成電路，發(fā)光二極管，鈮酸鋰，壓電陶瓷，砷化鎵，藍寶石，氧化鋁，氧化鐵，石英，玻璃，陶瓷，太陽能電池片等材料的劃切加工。利用高能激光束照射在工件表面，使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。
產(chǎn)品特性
良好地使用隔間內(nèi)所有的元件與選擇性單元，以達到最佳化間隔
標(biāo)準(zhǔn)軸轉(zhuǎn)速最高可達60000rpm
兩光學(xué)切割機組單元
全球最小的刀片間距
產(chǎn)品應(yīng)用
硅片切割、劃片
硅片清洗
UV膜粘性去除
規(guī)格參數(shù)
最大工作尺寸 | Φ 12inch, 305mm |
主軸 | 轉(zhuǎn)速 | 60000rpm |
功率 | 1.8kW |
X軸 | 切割范圍 | 310mm |
最大速度 | 1000mm/sec |
Y1/Y2軸 | 切割范圍 | 310mm |
最大速度 | 300mm/sec |
分辨率 | 0.078μm |
精度 | 0.002mm/310mm |
Z1/Z2軸 | 行程 | 34mm |
最大速度 | 80 mm/sec |
分辨率 | 0.002μm |
重復(fù)精度 | 0.001 mm |
θ | 轉(zhuǎn)動范圍 | 380° |
