晶圓上功率器件的表征
優(yōu)化的測量設(shè)置
優(yōu)化的信號(hào)路徑
各種不同分析儀的無縫集成
具有表面涂層的Triax卡盤，用于低泄漏測量，最高3kV，可提供高隔離度
高電流測量，最高接觸電流100 A，接觸電阻最低
針對(duì) 10 kV（同軸電纜）工作電壓的任選升級(jí)
薄晶圓處理能力
電弧防護(hù)和先進(jìn)的接地概念
帶互鎖的屏蔽罩，用于EMI /不透光環(huán)境
為使用者和器件提供了針對(duì)高壓電擊的最大程度保護(hù)
產(chǎn)品手冊(cè) 下載
