mmW-70 GHz,通過次THz和負(fù)載牽引
SlimVue顯微鏡,可快速更換鏡頭,視點分辨率1μm,可分辨?50μm的墊片
mmW壓板上刻有專用SIGMA套件的導(dǎo)板
支持寬帶、負(fù)載牽引、同軸電纜 RF 和帶狀波導(dǎo)配置
探針臺板位置的光反饋(量規(guī))
隔振平臺

毫米波探測高達(dá)太赫茲和負(fù)載牽引
SlimVue顯微鏡,可快速更換鏡頭,視點分辨率為1μm,可分辨?50μm的墊片
mmW壓板上刻有專用SIGMA套件的導(dǎo)板
支持寬帶、負(fù)載牽引、同軸電纜 RF 和帶狀波導(dǎo)配置
探針臺板位置的光反饋(量規(guī))
堅如磐石的機械設(shè)計和隔振平臺
亞微米級精度
電動定位器
<+-1μm分離重復(fù)性
千分尺精度和可重復(fù)的探頭放置以及超行程
產(chǎn)品手冊 下載