Triax –低噪聲測(cè)量，低至fA級(jí)別
立體顯微鏡：15x–100x放大倍率，具有大視野和可用于照相機(jī)的C型卡口
四個(gè)三軸探頭臂和高質(zhì)量的三軸電纜
光/EMI 屏蔽（任選）
用于 fF 級(jí)別測(cè)量的升級(jí)選項(xiàng)
TRIAX卡盤具有±8的theta卡盤精細(xì)旋轉(zhuǎn)，三個(gè)輔助區(qū)域，卡盤表面具有±5μm的平面度，以實(shí)現(xiàn)一致的接觸力和超行程
利用單一設(shè)置可完成東/西至北/南測(cè)量
產(chǎn)品手冊(cè) 下載
