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150mm探針臺(tái)200mm探針臺(tái)300mm探針臺(tái)大功率探針臺(tái)硅光探針臺(tái)低溫探針臺(tái)探針與針座探針臺(tái)功率放大器場(chǎng)強(qiáng)測(cè)量電波暗室混響室OTA測(cè)試暗室橫電磁波室GJB151A/B標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試RTCA DO-160G標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電磁兼容民用設(shè)備測(cè)試系統(tǒng)電磁兼容測(cè)試失效分析測(cè)試設(shè)備半導(dǎo)體封裝設(shè)備信號(hào)源頻譜分析儀/信號(hào)分析儀矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀功率探頭&功率計(jì)示波器阻抗調(diào)諧器電源直流測(cè)試誤碼儀采樣示波器光源光開關(guān)光濾波器光衰減器光功率計(jì)光譜儀光波元器件分析儀時(shí)鐘恢復(fù)(CDR)光波長(zhǎng)計(jì)OTDR光芯片測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試儀器儀表Maury Microwave射頻微波測(cè)試附件國(guó)產(chǎn)射頻微波測(cè)試附件電磁兼容測(cè)試附件FormFactor/Cascade探針臺(tái)測(cè)試附件測(cè)試附件THz在片測(cè)試系統(tǒng)WAT測(cè)試系統(tǒng)高壓在片測(cè)試系統(tǒng)光電在片測(cè)試系統(tǒng)硅光在片測(cè)試系統(tǒng)射頻在片測(cè)試系統(tǒng)失效分析在片測(cè)試系統(tǒng)在片負(fù)載牽引測(cè)試系統(tǒng)直流在片測(cè)試系統(tǒng)自動(dòng)測(cè)試軟件晶圓在片測(cè)試系統(tǒng)AM3200系列Pulsed IV測(cè)試系統(tǒng)MT1000/MT2000 系列有源負(fù)載牽引測(cè)試系統(tǒng)電源自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)多通道超寬帶信號(hào)生成和測(cè)試解決方案數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)設(shè)備微波射頻前端半實(shí)物協(xié)同仿真平臺(tái)無源-有源混合負(fù)載牽引測(cè)試系統(tǒng)射頻微波測(cè)試系統(tǒng)和解決方案電波暗室GTEM橫電磁波室混響室OTA測(cè)試暗室汽車整車及零部件EMC測(cè)試系統(tǒng)電磁兼容民用設(shè)備測(cè)試系統(tǒng)電磁兼容測(cè)試系統(tǒng)和解決方案維修租賃現(xiàn)貨代測(cè)行業(yè)資訊社會(huì)新聞公司簡(jiǎn)介聯(lián)系我們招賢納士
產(chǎn)品分類

Cascade Summit200 8英寸半/全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)

產(chǎn)品詳情


產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SUMMIT200探針臺(tái)專為研發(fā)設(shè)備表征/建?;蚶a(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計(jì),可在-60°C至 +300°C溫度范圍內(nèi)進(jìn)行精確的電氣測(cè)量,適用于超低噪聲,DC,RF,mmW和THz應(yīng)用,并具有半自動(dòng)和全自動(dòng)操作,可用于最快時(shí)間獲取準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。


Summit 200 mm 探針臺(tái),用于收集高精度測(cè)量數(shù)據(jù),速度提高 5 。

新的Cascade SUMMIT200,先進(jìn)的200mm探頭系統(tǒng),對(duì)于收集單個(gè)或體積晶圓上的高精度測(cè)量數(shù)據(jù)至關(guān)重要;越快越好。


SUMMIT200探針臺(tái)專為研發(fā)、器件表征/建模或利基生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計(jì),可在溫度范圍內(nèi)對(duì)超低噪聲、直流、射頻、毫米波和太赫茲應(yīng)用進(jìn)行精確電氣測(cè)量,具有半自動(dòng)和現(xiàn)在的全自動(dòng)操作,可以最快的速度獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。


下一代探頭系統(tǒng)支持PureLine?技術(shù),可實(shí)現(xiàn)市場(chǎng)上最低的噪音水平之一。獲得專利的 AttoGuard? 和 MicroChamber? 技術(shù)顯著改善了低泄漏和低電容測(cè)量。全新先進(jìn)的 200 mm 快速載物臺(tái)、可處理多達(dá) 50 片晶圓的盒式磁帶、高通量測(cè)試功能以及 -60°C 至 300°C 的寬溫度范圍,為科學(xué)家、研發(fā)和測(cè)試工程師或生產(chǎn)操作員提供快速完成工作所需的一切。


SUMMIT200探針臺(tái)支持Contact Intelligence?,這是一種獨(dú)特的技術(shù),可實(shí)現(xiàn)自主半導(dǎo)體測(cè)試。創(chuàng)新系統(tǒng)設(shè)計(jì)和最先進(jìn)的圖像處理技術(shù)的強(qiáng)大組合提供了獨(dú)立于操作員的解決方案,可在任何時(shí)間和溫度下實(shí)現(xiàn)高度可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)。


該SUMMIT200具有廣泛的應(yīng)用范圍和滿足未來任何需求的升級(jí)路徑,為現(xiàn)有和未來的設(shè)備和 IC 提供最先進(jìn)的 200 mm 探針臺(tái)平臺(tái),用于快速、高精度和大批量測(cè)量。


*SUMMIT200平臺(tái)還提供不同的版本,用于不需要上述增強(qiáng)功能集的測(cè)量任務(wù)。有關(guān)詳細(xì)信息和選項(xiàng),請(qǐng)參閱數(shù)據(jù)表。




產(chǎn)品特性

  • 采用 PureLine、AutoGuard 和新一代 MicroChamber 技術(shù)實(shí)現(xiàn)高準(zhǔn)確度 IV/CV、低噪聲和 1/f 測(cè)量的最佳解決方案

  • 利用有效的屏蔽能力最大限度降低了 AC 和頻譜噪聲

  • 可選載片器的自動(dòng)晶圓處理

  • 強(qiáng)大的自動(dòng)化工具減少了晶圓,單個(gè)裸片和模塊的總測(cè)試時(shí)間

  • 用于實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確定位和可重復(fù)的探針-焊盤接觸的高級(jí) 4 軸半自動(dòng)臺(tái)

  • -60°C 至 +300°C 的完整溫度范圍



測(cè)量精度

ü使用PureLine、AutoGuard 和下一代 MicroChamber 技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度 IV/CV、低噪聲和 1/f 測(cè)量的最佳解決方案

ü通過有效的屏蔽功能將交流噪聲和頻譜噪聲降至最低

ü通過集成射頻工具和 WinCal 實(shí)現(xiàn)無與倫比的射頻/毫米波測(cè)量和校準(zhǔn)精度

ü最短的信號(hào)路徑測(cè)試集成,可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、熱穩(wěn)定和低誤差的數(shù)據(jù)采集


生產(chǎn)力

ü將準(zhǔn)確數(shù)據(jù)的時(shí)間提高多達(dá) 5 倍

ü先進(jìn)的200 mm 載物臺(tái),提高測(cè)試吞吐量

ü采用VueTrack?和高溫穩(wěn)定性(HTS)技術(shù)的高通量UT/MT(多溫度無人值守測(cè)試)

ü使用可選裝載機(jī)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)晶圓處理

ü為標(biāo)準(zhǔn)和“難以測(cè)試”的器件(如薄晶圓、小焊盤和高功率)更快地獲得首次數(shù)據(jù)

üeVue 數(shù)字成像系統(tǒng)具有增強(qiáng)的光學(xué)可視化、快速設(shè)置以及片內(nèi)和晶圓導(dǎo)航功能

ü強(qiáng)大的自動(dòng)化工具可縮短晶圓、單晶芯片和模塊的總測(cè)試時(shí)間


定位精度

ü先進(jìn)的 4軸 半自動(dòng)載物臺(tái),可實(shí)現(xiàn)精確定位和可重復(fù)的探頭與焊盤接觸

ü使用電動(dòng)定位器和VueTrack PRO進(jìn)行精確的亞微米定位和主動(dòng)熱補(bǔ)償

ü通過符合人體工程學(xué)的手動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)額外的快速“動(dòng)手”晶圓定位



靈活性和針對(duì)應(yīng)用量身定制的解決方案

ü射頻/微波器件特性、1/f、WLR、FA 和設(shè)計(jì)調(diào)試

üVelox 與分析儀/測(cè)量軟件之間的無縫集成

ü使用探頭定位器和探頭卡的完整解決方案

ü多功能顯微鏡安裝系統(tǒng),用于精細(xì)結(jié)構(gòu)和大面積探測(cè)

ü全熱范圍:-60°C至+300°C


熱測(cè)量

üATT的各種高性能、可靠的熱卡盤系統(tǒng)

ü從僅熱到-60°C至+300°C的全熱范圍的靈活性

ü與市場(chǎng)上其他系統(tǒng)(300l/min)相比,耗氣量(CDA)降低25%,且不影響過渡時(shí)間

ü轉(zhuǎn)換時(shí)間比市場(chǎng)上其他系統(tǒng)快15%

ü獲得專利的 MicroVac? 和 FemtoGuard? 技術(shù),提供超低噪聲測(cè)量和可控泄漏、低殘余電容以實(shí)現(xiàn)可重復(fù)性以及先進(jìn)的測(cè)量精度和速度

ü可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí):隨心所欲


易用性

ü舒適且符合人體工程學(xué)的操作

ü通過鎖定推出平臺(tái)快速舒適地手動(dòng)晶圓存取

ü使用 Velox 輕松進(jìn)行屏幕導(dǎo)航、晶圓映射以及附件和熱系統(tǒng)的操作


Velox 探針臺(tái)控制軟件

ü以用戶為中心的設(shè)計(jì)最大限度地降低了培訓(xùn)成本并提高了效率

üWindows 10 兼容性通過最先進(jìn)的硬件實(shí)現(xiàn)最高性能和安全操作

ü全面的對(duì)準(zhǔn)功能—— 從簡(jiǎn)單的晶圓對(duì)準(zhǔn)和映射到多種溫度下的高級(jí)探頭到焊盤對(duì)準(zhǔn),用于自主半導(dǎo)體測(cè)試

ü為沒有經(jīng)驗(yàn)的用戶簡(jiǎn)化操作:通過工作流程指南和簡(jiǎn)潔的圖形用戶界面降低培訓(xùn)成本

ü裝載機(jī)集成——輕松創(chuàng)建工作流程和收據(jù),無需任何附加軟件

üVeloxPro 選件:符合 SEMI E95 標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試執(zhí)行軟件,可簡(jiǎn)化整個(gè)晶圓測(cè)試周期的自動(dòng)化



產(chǎn)品應(yīng)用

電源類產(chǎn)品,半導(dǎo)體分立器件,IV/CV,RF/mmW/THz,失效分析,WLR,MEMS,硅光子學(xué)


產(chǎn)品規(guī)格參數(shù) 下載


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