校準片

型號

外觀

主要特性

標準阻抗校準片

• 用于 ACP、Infinity 和 FPC 探針

• 確保在矢量網(wǎng)絡分析儀的晶圓上校準中獲得更高的準確度和更好的重復精度

• 提供了經(jīng)驗證的 LRRM 校準準確度

• 具有自動負載電感補償功能

CSR 校準片

• 與|Z|探針完美匹配

• 所有的 CSR 校準片都在校準片本身之上包括 Open 標準，因而與為了 Open 而簡單地抬高探針相比，提供了一種更加準確的校準。由于我們的探針系統(tǒng)在激光修整工藝中使用，所以對于所有的負載 (Load) 標準，典型準確度皆優(yōu)于 0.1%。而且，在 10 K 至 430 K 的溫度范圍內(nèi)，Load 標準的電阻保持穩(wěn)定在理想值 (50 ?) 的 0.3% 以內(nèi)

多線TRL校準片

• 毫米波和亞毫米波校準片

• 專為 T-Wave? 探針而優(yōu)化

• 多線 TRL 校準襯底提供了 CPW 標準，包括反射（短路）、thru 和兩線

• 襯底材料：高阻性硅

• 襯底厚度：275 μm

• 介電常數(shù)：11.8

• 標稱 Z0：50 Ω

Pyramid校準片

• 匹配 DUT 布局的能力改善了 RF 校準，可實現(xiàn)更好的良率

• 探針卡中位點之間偏移的減小免除了建立關聯(lián)的需要

• 對于多 DUT 校準，通過在多個標準上的單次觸壓減少了校準時間

• 探針、校準片和校準系數(shù)在單個方框中（每個thru的延時、C_OPEN，L_LOAD和L_SHORT）