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150mm探針臺200mm探針臺300mm探針臺大功率探針臺硅光探針臺低溫探針臺探針與針座探針臺功率放大器場強(qiáng)測量電波暗室混響室OTA測試暗室橫電磁波室GJB151A/B標(biāo)準(zhǔn)測試RTCA DO-160G標(biāo)準(zhǔn)測試電磁兼容民用設(shè)備測試系統(tǒng)電磁兼容測試失效分析測試設(shè)備半導(dǎo)體封裝設(shè)備信號源頻譜分析儀/信號分析儀矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀功率探頭&功率計示波器阻抗調(diào)諧器電源直流測試誤碼儀采樣示波器光源光開關(guān)光濾波器光衰減器光功率計光譜儀光波元器件分析儀時鐘恢復(fù)(CDR)光波長計OTDR光芯片測試系統(tǒng)測試儀器儀表Maury Microwave射頻微波測試附件國產(chǎn)射頻微波測試附件電磁兼容測試附件FormFactor/Cascade探針臺測試附件測試附件THz在片測試系統(tǒng)WAT測試系統(tǒng)高壓在片測試系統(tǒng)光電在片測試系統(tǒng)硅光在片測試系統(tǒng)射頻在片測試系統(tǒng)失效分析在片測試系統(tǒng)在片負(fù)載牽引測試系統(tǒng)直流在片測試系統(tǒng)自動測試軟件晶圓在片測試系統(tǒng)AM3200系列Pulsed IV測試系統(tǒng)MT1000/MT2000 系列有源負(fù)載牽引測試系統(tǒng)電源自動測試系統(tǒng)多通道超寬帶信號生成和測試解決方案數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)設(shè)備微波射頻前端半實物協(xié)同仿真平臺無源-有源混合負(fù)載牽引測試系統(tǒng)射頻微波測試系統(tǒng)和解決方案電波暗室GTEM橫電磁波室混響室OTA測試暗室汽車整車及零部件EMC測試系統(tǒng)電磁兼容民用設(shè)備測試系統(tǒng)電磁兼容測試系統(tǒng)和解決方案維修租賃現(xiàn)貨代測行業(yè)資訊社會新聞公司簡介聯(lián)系我們招賢納士

ION系列等離子體清洗系統(tǒng)

產(chǎn)品詳情


產(chǎn)品簡介

射頻發(fā)生器是產(chǎn)生等離子體的能量來源。它將標(biāo)準(zhǔn)的50/60Hz交流線路電源轉(zhuǎn)換為13.56MHz射頻信號。并加到密閉腔室內(nèi)的一組電極上,將腔室中的一些氣體分子電離為化學(xué)反應(yīng)原子、離子和自由基組成的低溫等離子體。

射頻發(fā)生器具有內(nèi)置的安全功能,以保護(hù)功率晶體管免受過度反射功率的影響,并調(diào)節(jié)輸出功率。

等離子體可以用于加工材料的表面以進(jìn)行清潔、蝕刻、剝離和/或活化。

射頻發(fā)生器包含反射功率和散熱器溫度控制程序。在打開射頻電源之前,控制程序確保腔室中的壓力在可接受的范圍內(nèi)。這可防止對匹配網(wǎng)絡(luò)造成損壞。


產(chǎn)品特性

可用氣體

鋁制或陶瓷腔室:空氣,氬氣,氧氣,一氧化二氮,四氟化碳,氦氣

玻璃腔室:空氣,氬氣,氧氣,一氧化二氮,四氟化碳

質(zhì)量流量控制計   最多至6路氣體
工藝壓力      200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間      大約1分鐘 (取決于真空泵)
射頻電源     風(fēng)冷13.56MHz,600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)

供給需求電源  220V 單相, 50Hz
工藝氣體     輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體     輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣     輸入壓力 4-6 bar



產(chǎn)品應(yīng)用

有機(jī)、金屬和復(fù)合基底的表面改性和清洗


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