產(chǎn)品簡(jiǎn)介
劃片印跡小，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性高
高分辨率顯微鏡
17英寸觸摸屏，可操作性更強(qiáng)
產(chǎn)品特性
適應(yīng)于多種應(yīng)用場(chǎng)景：
12-inch
300×250mm
標(biāo)準(zhǔn)主軸轉(zhuǎn)速60000rpm，選件：高轉(zhuǎn)速80000rpm；高功率主軸2.2kW（30000rpm）
簡(jiǎn)單快捷的切縫檢查功能
易于日常維護(hù)
更高效的真空控制系統(tǒng)，與普通機(jī)型相比減少50%空氣消耗
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體制造晶圓劃片
規(guī)格參數(shù)
最大工作尺寸 | Φ 12inch, □ 300x250 mm |
主軸 | 轉(zhuǎn)速 | 60000rpm |
| 功率 | 1.8kW |
X軸 | 切割范圍 | 310mm |
| 最大速度 | 800mm/sec |
Y軸 | 切割范圍 | 310mm |
| 最大速度 | 300mm/sec |
| 精度 | 0.002 mm / 310 mm |
Z軸 | 行程 | 35mm |
| 最大速度 | 80 mm/sec |
| 重復(fù)精度 | 0.001 mm |
θ | 轉(zhuǎn)動(dòng)范圍 | 380° |
物理尺寸 | 890 mm×1000 mm×1560 mm |
重量 | 800 kg |
