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產(chǎn)品分類(lèi)

PG3000RMX研磨減薄機(jī)

PG3000RMX研磨減薄機(jī)
產(chǎn)品詳情


產(chǎn)品簡(jiǎn)介

RM200/300提供了一個(gè)單一單元的解決方案,以補(bǔ)充PG200/300處理的附加功能,去除較薄的晶圓片上的保護(hù)帶,然后晶圓進(jìn)入劃片工序。

在一臺(tái)機(jī)器上完成對(duì)雙面晶圓的粗磨、精磨、拋光和清洗。

所有的過(guò)程都是在不移動(dòng)卡盤(pán)上的晶圓的情況下完成的。

研磨不添加化學(xué)物質(zhì),減少對(duì)晶圓的破壞。


產(chǎn)品特性

  • 研磨過(guò)程中非接觸式測(cè)量晶圓厚度

  • 非本征吸除功能:吸除金屬離子防止對(duì)晶圓中的晶體管電路產(chǎn)生影響

  • 為多種產(chǎn)品提供提供晶圓清洗功能,例如:CMOS成像傳感器,LCD驅(qū)動(dòng)器,TSV

  • 減薄機(jī)系統(tǒng)可以與劃片機(jī)系統(tǒng)統(tǒng)籌集成,獲得完美的25μm厚度的晶圓


產(chǎn)品應(yīng)用

圓減薄


規(guī)格參數(shù)

加工厚度

300μm-1600μm

工藝能力

可減20um

片內(nèi)厚度偏差

TTV<=2μm

片間厚度偏差

WTW<=2μm

粗糙度

粗磨(#325):Ra<0.2μm

精磨(#2000):Ra<0.02μm

拋光

Ra<5nm

主軸最大轉(zhuǎn)速

3000RPM





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